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制作流程

时间:2020-03-15 返回列表
切片 ,清洗 ,制备绒面 ,周边刻蚀 ,去除背面PN+结 ,制作上下电极 ,制作减反射膜 ,烧结 ,测试分档等10步  。 太阳能电池具体的制作工艺说明 (1) 切片:接纳多线切割 ,将硅棒切割成正方形的硅片  。 (2) 清洗:用通例的硅片清洗要领清洗 ,然后用酸(或碱)溶液将硅片外貌切割损伤层除去30-50um  。 (3) 制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐化在硅片外貌制备绒面  。 (4) 磷扩散:接纳涂布源(或液态源 ,或固态氮化磷片状源)进行扩散 ,制成PN+结 ,结深一般为0.3-0.5um  。 (5) 周边刻蚀:扩散时在硅片周边外貌形成的扩散层 ,会使电池上下电极短路 ,用掩蔽湿法腐化或等离子干法腐化去除周边扩散层  。 (6) 去除背面PN+结  。常用湿法腐化或磨片法除去背面PN+结  。 (7) 制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺  。先制作下电极 ,然后制作上电极  。铝浆印刷是大宗接纳的工艺要领  。 (8) 制作减反射膜:为了减少入反射损失 ,要在硅片外貌上笼罩一层减反射膜  。制作减反射膜的质料有MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,TiO2 ,Ta2O5等  。工艺要领可用真空镀膜法、离子镀膜法 ,溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等  。 (9) 烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上  。 (10)测试分档:按划定参数规范 ,测试分类  。 生产电池片的工艺比较庞大 ,一般要经过硅片检测、外貌制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜、丝网印刷、快速烧结和检测分装等主要办法  。
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