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太阳能电池具体的制作工艺说明

时间:2020-03-15 返回列表
切片,清洗,制备绒面,周边刻蚀,去除背面PN+结,制作上下电极,制作减反射膜,烧结,测试分档等10步。 太阳能电池具体的制作工艺说明 (1) 切片:接纳多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片。 (2) 清洗:用通例的硅片清洗要领清洗,然后用酸(或碱)溶液将硅片外貌切割损伤层除去30-50um。 (3) 制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐化在硅片外貌制备绒面。 (4) 磷扩散:接纳涂布源(或液态源,或固态氮化磷片状源)进行扩散,制成PN+结,结深一般为0.3-0.5um。 (5) 周边刻蚀:扩散时在硅片周边外貌形成的扩散层,会使电池上下电极短路,用掩蔽湿法腐化或等离子干法腐化去除周边扩散层。 (6) 去除背面PN+结。常用湿法腐化或磨片法除去背面PN+结。 (7) 制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。先制作下电极,然后制作上电极。铝浆印刷是大宗接纳的工艺要领。 (8) 制作减反射膜:为了减少入反射损失,要在硅片外貌上笼罩一层减反射膜。制作减反射膜的质料有MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,TiO2 ,Ta2O5等。工艺要领可用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等。 (9) 烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。 (10)测试分档:按划定参数规范,测试分类。 生产电池片的工艺比较庞大,一般要经过硅片检测、外貌制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜、丝网印刷、快速烧结和检测分装等主要办法。太阳能电池板,太阳能板,太阳能电池板厂家-尊龙凯时人生就是搏
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